1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圆圆的晶振片
，起源于多面体石英棒
，先被切成闪闪发光的六面体棒
，再经过反复的切割和研磨
，石英棒最终被做成一堆薄薄的（厚0.23mm
，直径13.98mm）圆片
，每个圆片经切边
，抛光和洗濯
，最后镀上金属电极（正面全镀
，背面镀上钥匙孔形）
，经过检测
，包装就能够出厂使用。晶体的质量和寿命不仅影响速度和厚度丈量的正确性
，更沉要的是还决定着受节造的过程能否成功实现。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作道理

石英晶体若在晶片的两侧施加机械压力
，则在晶片相应的方向大将产生电场
，这种物理景象称为压电效应。若是在晶片的两极上加交变电压
，晶片就会产朝气械振动
，同时晶片的机械振动又会产生交变电场。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分类

此刻市场上常用的有两衷斓点
，标称频率别离为5.000MHz、6.000MHz
，凭据膜厚节造仪的探头设计分歧
，选取分歧的电极状态。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的利用

石英晶振片是晶振膜厚节造仪系统中的速度和厚度传感元件。这些晶体用于所有尺度监控器或节造器以及单、双或多晶体传感器的真空利用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的电极资料

晶振片的电极对膜厚监控至关沉要
，目前市场上提供三种尺度电极资料：金、银和合金。 用户所镀的资料分歧
，需选用分歧的电极资料产品。

金：是最宽泛使用的传统资料
，它拥有低接触电阻
，高化学不变性
，易于沉积。适合于镀低应力膜料
，如镀Al Au Ag Cu。

银：适合于镀高应力膜料
，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金：适合于镀介质光学膜
，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚监控道理

石英晶体法监控膜厚
，重要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层
，使晶振片的厚度增长
，则晶振片的固有频率会相应的变动。

晶体的基频越高
，节造的活络度也越高
，但基频过高时
，晶体片会做得很薄
，很薄的晶体片易碎
，通常选用AT切型频率5～10MHz。选取AT切晶体片
，其振动频率对证量的变动极其活络
，但却不敏感于温度的变动
，拥有精度高、活络度好等怪异的优势
，极度适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、银或银铝合金溶于各类酸
，不适合再处置利用
，必须彻底除去晶振片上的膜层和电极
，沉新寄回我司镀上电极。

2、金不溶于硫酸
，用户能够自已进行处置
，去掉晶振片上膜层
，洗濯干净再利用
，但沉复利用次数不易太多
，不然质量不变性降低影响使用。

8.晶振片洗濯配方: 

20%氟化氢铵水溶液
，浸泡6幼时以上
，浸泡后投入酒精擦拭
，去水即可。